當(dāng)下5G時(shí)代的簾幕已然被揭開(kāi)，萬(wàn)物智能互聯(lián)的時(shí)代來(lái)臨，無(wú)人駕駛、虛擬現(xiàn)實(shí)、智慧城市、物聯(lián)網(wǎng)已經(jīng)成為了我們?nèi)粘Ｉ钪谐Ｒ?jiàn)的詞語(yǔ)。就拿我們手邊的手機(jī)來(lái)說(shuō)，通訊性能作為手機(jī)的重要指標(biāo)之一，已經(jīng)成為中國(guó)手機(jī)制造商提升產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的重要突破口。

射頻濾波芯片因設(shè)計(jì)、工藝難度高，被視為芯片行業(yè)“皇冠上的明珠”是現(xiàn)代無(wú)線通信、5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等諸多行業(yè)的核心與基石。高端濾波芯片的市場(chǎng)份額長(zhǎng)期都被歐美大廠所壟斷，直到諾思微系統(tǒng)的出現(xiàn)，具有自主技術(shù)的國(guó)產(chǎn)廠商才占據(jù)一席之地，開(kāi)始進(jìn)入市場(chǎng)并逐步具備競(jìng)爭(zhēng)力。

2011年，一批海外歸國(guó)人員創(chuàng)辦了中國(guó)首家薄膜體聲波諧振濾波芯片制造企業(yè)——諾思（天津）微系統(tǒng)有限責(zé)任公司。這批歸國(guó)博士放棄了國(guó)外半導(dǎo)體巨頭企業(yè)優(yōu)渥的待遇，躊躇滿志，勵(lì)志學(xué)成歸來(lái)，報(bào)效祖國(guó)，勢(shì)必要為中國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)做出貢獻(xiàn)。他們將個(gè)人夢(mèng)想與國(guó)家發(fā)展統(tǒng)一，愿為中國(guó)半導(dǎo)體自立圖強(qiáng)貢獻(xiàn)畢生力量。

一顆高端濾波芯片的制造工藝非常復(fù)雜，一條生產(chǎn)線大約涉及50多種精密設(shè)備、300多道工藝步驟。諾思微系統(tǒng)的濱海工廠位于天津市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，2017年第三季度正式通線，廠房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬(wàn)平方米，目前該工廠月生產(chǎn)能力已達(dá)到3000萬(wàn)顆。

諾思的整座晶圓廠是一個(gè)高標(biāo)準(zhǔn)的無(wú)塵室，為了保持生產(chǎn)環(huán)境的絕對(duì)潔凈，外來(lái)的空氣必須先經(jīng)過(guò)精細(xì)的高效過(guò)濾，將比頭發(fā)絲小50倍的0.1微米的顆粒都擋在潔凈室外。無(wú)塵室中的溫度、濕度、靜電、壓力、磁場(chǎng)以及震動(dòng)等都需要嚴(yán)格控制，而制造芯片所需要的純水、化學(xué)品與氣體等，則是從無(wú)塵室外圍透過(guò)縱橫分布的管道，直接輸送到各類制造設(shè)備上。在制作環(huán)節(jié)上主要分為：光刻區(qū)、薄膜區(qū)、刻蝕區(qū)、減薄區(qū)、晶圓測(cè)試區(qū)等，工廠生產(chǎn)基本上擺脫了對(duì)人工操作的依賴，在生產(chǎn)線上可以達(dá)到80%以上的智能自動(dòng)化。

如今，公司參與研發(fā)人員近百人，在體聲波濾波領(lǐng)域已申請(qǐng)的國(guó)內(nèi)發(fā)明專利達(dá)320項(xiàng)，國(guó)際PCT專利130項(xiàng)，在濾波器設(shè)計(jì)、器件結(jié)構(gòu)、工藝、封裝等多方面建立起強(qiáng)有力的技術(shù)壁壘。今年三月，作為國(guó)內(nèi)唯一具備大規(guī)模量產(chǎn)交付能力的平臺(tái)，諾思牽頭國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”專項(xiàng)項(xiàng)目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”正式啟動(dòng)，未來(lái)3年內(nèi)諾思的量產(chǎn)產(chǎn)線將力爭(zhēng)達(dá)到年產(chǎn)20億顆芯片的產(chǎn)能規(guī)模，為解決高端射頻濾波芯片的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)提供保障。(津云新聞?dòng)浾?王敬怡 攝影/姜曉龍 設(shè)計(jì)/陳楚)